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　　多晶硅、單晶硅生產(chǎn)廢水在電子半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)過程產(chǎn)生的廢水。多晶硅生產(chǎn)和研磨過程中產(chǎn)生的廢水水量較大、傳統(tǒng)方法處理后出水的有毒有害金屬離子、氟等不能穩(wěn)定達標，對水資源環(huán)境造成的污染日益嚴重，同時由于我國水資源時空分布極不均勻，隨著城市用水量的逐漸增大，水資源短缺越來越嚴重，如處理后水直接排放，浪費了寶貴的水資源.水回用勢在必行，水回用具有極高的社會效益和環(huán)境效益，它一方面可以減少環(huán)境排污量，減少環(huán)境污染。未回收利用的氯硅烷低沸物和氯化氫、提純分離塔的不凝氣體、還原爐開停爐置換尾氣、各系統(tǒng)檢修時的置換尾氣等工藝廢氣經(jīng)尾氣淋洗塔淋洗處理產(chǎn)生的酸性廢水，其水量與工藝廢氣的排放量、氯硅烷和氯化氫的濃度有直接關(guān)系。為確保處理后的廢氣達標排放，工藝廢氣的排放量或其中的氯硅烷、氯化氫濃度越大，產(chǎn)生的廢水量越大。這部分廢水是多晶硅生產(chǎn)廢水的主要組成部分，一般占多晶硅生產(chǎn)廢水總量的90%以上，其主要污染物為鹽酸和氯硅烷水解產(chǎn)生的Si02等，經(jīng)人工或機械刮撈后的酸性廢水沿地溝或管道排入廢水站調(diào)節(jié)池。
 

　　一、多晶硅生產(chǎn)廢水處理簡介

　　1、藥劑配制

　　(1)石灰乳的配制。石灰乳攪拌槽注入一定容積的回用水，緩慢加入ca(OH)2含量大于70%的200目石灰粉并不斷攪拌，配制成20%的石灰乳溶液。兩組石灰乳攪拌槽，一套配制一套使用，相互交替運行。

　　(2)PAC溶液的配制。A120，含量>30%、鹽基度>80%的PAC按比例緩慢投加到用回用水定容的PAC溶解配置攪拌槽中，不斷攪拌配制成5%的PAc溶液，打開放液閥，使配制好的PAc溶液進入溶液槽中供處理系統(tǒng)使用，兩組溶液槽一組配制一組使用。

　　(3)PAM溶液的配制。向PAM配制攪拌槽注入一定量回用水，啟動攪拌機，人工緩緩向槽內(nèi)投加分子量>l 200萬的陽離子高效絮凝劑PAM，充分攪拌使其溶解配制成5%o的PAM溶液，打開放液閥，分別向兩個溶液槽注入一定量的5%oPAM溶液，啟動溶液槽攪拌機，向溶液槽內(nèi)加回用水并充分攪拌完全溶解配制成0.5‰的藥液，兩組PAM溶液槽，一組使用一組配制，交替運行。在藥劑的配制和使用過程中，為避免藥液沉淀或結(jié)膠，要保持攪拌機連續(xù)運行。

　　2、中和

　　酸性廢水由提升泵輸送至中和槽與石灰乳發(fā)生中和反應(yīng)，由于反應(yīng)需要一定的時間，控制不好易造成出水pH不能滿足工藝要求。為保證處理系統(tǒng)連續(xù)穩(wěn)定運行，本工藝采用兩級中和槽串聯(lián)進行中和反應(yīng)，即酸性廢水自一級中和槽下部進入，通過上部溢流沿管道自二級中和槽下部進入，廢水在中和槽升流過程中與通人中和槽中下部的石灰乳混合，在攪拌作用下快速反應(yīng)。通過調(diào)整兩級中和槽的石灰乳投加量，同時控制兩級中和槽的攪拌速率，使一級中和槽出水pH達到4—5，二級中和槽出水pH達到7—8。

　　3、混合

　　混合的實質(zhì)是混凝荊水解產(chǎn)物在水中的擴散問題，使水中膠體顆粒同時脫穩(wěn)產(chǎn)生凝聚，為取得好的絮凝效果創(chuàng)造條件，也是節(jié)省投藥量的關(guān)鍵。本工藝采用管式微渦管道混合器作為混合設(shè)備，且PAc溶液在輸送泵前加入，PAM溶液在輸送泵后加入，利用湍流微渦旋和離心慣性效應(yīng)，實現(xiàn)了PAC、PAM水解產(chǎn)物在廢水中的充分擴散，使廢水中形成的膠體顆粒得到了更好的脫穩(wěn)。加藥量是根據(jù)絮凝沉淀系統(tǒng)出水水質(zhì)進行調(diào)整的，一般控制每立方米廢水投加5%PAC藥液6一10 L，投加0.5‰

　　4、絮凝沉淀

　　本工藝采用了集成式廢水凈化器，將直流混凝、微絮凝、重力沉降、離心分離、動態(tài)過濾、污泥濃縮等處理技術(shù)有機地結(jié)合集成在一套設(shè)備中。充分地利用混合液在凈化器內(nèi)慣性效應(yīng)和湍流剪切力，使廢水沿切線方向高速進入凈化器后在凈化器內(nèi)部的特殊結(jié)構(gòu)下通過壓縮雙電層、吸附電中和、吸附架橋、沉淀和網(wǎng)捕等作用，快速形成密實的礬花和較大的絮體，在霞力和離心力作用下，密實的礬花和較大的絮體顆粒滑到錐形污泥濃縮區(qū)濃縮，廢水沿罐壁向下懸流到一定程度后向中心靠攏，形成向上的懸流繼續(xù)上升進入動態(tài)過濾區(qū)深處理，過濾后的合格廢水自清水管道進入回用池回用或外排。

　　5、污泥處理

　　根據(jù)集成式廢水凈化器監(jiān)控取樣情況合理安排排泥周期，將集成式污水處理設(shè)備污泥濃縮區(qū)的污泥排到污泥水箱，開啟污泥輸送泵和板框壓濾機處理污泥，噩濾水返回中間水箱再處理，當板框壓濾機不再進水時，停止污泥輸送泵或?qū)⑽勰鄬?dǎo)入另一臺板框壓濾機，按板框壓濾機操作程序自動卸渣，濾渣經(jīng)皮帶輸送機輸送到渣場，定期外運處置。

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